光催化廢氣處理設備的技術是利用特種紫外線波段，在催化劑的作用下，將氧氣催化生成臭氧和羥基自由基及負氧離子，再將VOCs分子氧化還原的一種處理方式。
高效有機廢氣VOCs處理催化燃燒設備安裝在客戶廠區(qū)
大部份應用于VOCs處理的UV光催化處理設備是引用過去除臭殺菌的技術原理，通常采用雙波長紫外光管，將能量主要用于轉換臭氧，用普通二氧化鈦材料作為催化劑，雖除污效率號稱達到80%以上，實際現(xiàn)在使用的UV光催化處理VOCs設備的效率均較低，在無計算技術的控制下，會大量生成臭氧和中間副產物。
在UV光催化氧化技術應用中，包括UV管的波長、光催化材料、反應時間、相對濕度、灰塵顆粒物等都是處理VOCs成敗的瓶頸要素。目前普遍認為光催化氧化法能夠將VOCs完全降解生成無毒無害的CO2和H2O等，但是在使用中由于反應時間太短，揮發(fā)性有機物在光催化氧化反應會生成酮、醛等更惡毒的中間產物和大量的臭氧。
近年來工業(yè)城鎮(zhèn)造成臭氧超標的其中因素就是濫用等離子體和產臭氧的UV光催化氧化設備。由于這兩類設備都是試圖通過將空氣中的氧轉變成臭氧后通過化學反應消解工業(yè)廢氣的技術，但因反應條件的制約，使產生的臭氧轉換成自由基和負氧離子的效率很低，同時因反應時間過短，導致設備產生的大部分臭氧未能實現(xiàn)對VOCs處理而直接排放。
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